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MM3A-LS微纳操纵仪,是德国Kleindiek公司用于生命科学领域应用的一款操纵仪。主要特点是纳米级的分辨率和厘米级的工作范围,探针“零”漂移。应用:膜片钳的微操和细胞等纳米级机械刺激等
MM3A-EM微纳操纵仪(Micromanipulator)体积小,安装在SEM/FIB的腔室内。可用于TEM样品的原位提取,半导体器件的纳米探测,纳米材料样品的微纳操纵等。
Kleindiek纳米探针台是基于SEM/FIB的材料,半导体器件的电学性能表征系统。纳米级微操纵器和相关的探针软硬件模块组合提供多功能的纳米探测的解决方案,用于半导体器件故障分析和稳定微弱电流的测量。
EBIC Amplifier用于对半导体样品,器件,微纳结构可进行EBIC,EBAC,RCI,EBIV和EBIRCH分析。通过MM3A/MM4将探针精确定位到探测位置,信号通过弱电流测量屏蔽套件(LCMK)传输到SEM/FIB视频输入端,并通过SEM/FIB成像。
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