MM3A-EM微纳操纵仪（Micromanipulator）体积小，安装在SEM/FIB的腔室内。可用于TEM样品的原位提取，半导体器件的纳米探测，纳米材料样品的微纳操纵等。

MM3A微纳操纵仪

功能：用于SEM,FIB和其他显微平台下的纳米级显微操纵。微镊子，弱电流测量屏蔽，旋转，微力测量等插件进一步拓展MM3A的功能。

功能插件（Plug-in Tools）：

Microgripper微镊子

Rotationaltip 旋转臂

Lowcurrent measurement kit 弱电流测量屏蔽套件

Microsoldering unit 微焊接

Microinjector微注射

GasInjection System 气体注射系统

Forcemeasurement system 微力测量

产品特点（Features）：

纳米级精度，厘米级工作范围

定位的长期稳定性，“零"漂移

可适用于各种SEM/FIB显微平台，包括Load lock

丰富的功能插件

技术参数（Specifications）

尺寸：62.1（L）*20.4（W）*25.4mm（H）

重量：45g

操纵范围：12mm（C轴）, 240o(A,B轴)

位移速度：≥2 mm/s（C轴），≥10 mm/s（A,B轴）

分辨率：0.05nm（C），0.25nm（B），0.5nm（A）

保持力：1N

保持扭矩：3-4Nmm

探针电流范围：10 nA to 100 mA

最大探针电压：100V

真空度：10-7 mbar

应用领域（Application）：

原位提取（In-situ lift-out）

纳米探测（NanoProbing）

微纳操纵（NanoManipulation）